​中国刻蚀机之父尹志尧：不惧美国打压，14年造出顶级刻蚀机

中国刻蚀机之父尹志尧：不惧美国打压，14年造出顶级刻蚀机

现在国力的竞争归根结底到底是科技的竞争，科技的竞争归根到底是人才的竞争。我国目前在航空航天、汽车、手机、电视等制造方面都处于世界一流水平，摆脱了西方的钳制，但我国在科技最前沿的半导体芯片领域仍属短板，百分之九十的芯片需要进口。

经常被以美国为首的西方国家卡住脖子，出了钱还不让顺利拿回东西来。最近有一个中国人带领他的企业率先打破了西方国家在半导体芯片技术方面的垄断，在刻蚀机制造方面达到了世界一流水平，此敢叫日月换新天的人物便是尹志尧。刻蚀机能有响当当的中国制造得感谢他。

中微半导体，芯片领域中的中国制造

人类已经步入了智能时代，手机、电脑、汽车、机器人都将完全实现智能化，而这些进入千家万户设备中最核心的部件便是芯片，芯片是所有智能设备的大脑，芯片制作技术可以说是科技中的王者，制造难度相当于用一束激光去平整地域广袤的德国国土，并且精准度要在一毫米上下。

用到的是芯片制造最为核心的技术为光刻机技术。光刻要把上亿条晶体管以及电气元件刻制在小小的芯片上，下一个关键步骤就是要用刻蚀机将芯片上没有用的部分全部去除，这个难度就相当于用一个只有头发丝直径的钻头去打一口水井。

这个钻头不能变形的同时还要将其损耗控制在0.07纳米之内，并且要在一年之内完成一百万万亿个孔的刻蚀，精确度要达到99.99%。一般人看来要完成这种工作完全是天方夜谭，是不可能完成的任务，但尹志尧带领其团队不但完成了，而且完成得很完美，达到了世界一流水平。

尹志尧60岁回国创立的中微半导体公司用了15年时间就发展成了刻蚀机制造巨头，成为了美国在中国大陆公司唯一要防备的中国公司，更成为了全球唯一一家在官司场上对垒美国三家顶级科技企业11年不败的中国企业。

天选之子

尹志尧，生于北京，是个天选之子，走出了标准的顶尖学霸之路，中学念得是北京有名的北京四中，大学本科是中国科技大学化学物理系，硕士是在北大电子计算机系的硕士，顺利毕业后考上了美国加利福尼亚大学洛杉矶分校，攻读物理化学博士。

要知道加大的理科，当时在全美是排名第一的，哈佛都比不过。博士毕业后的他赢得了英特尔公司的青睐，他被聘为英特尔公司在硅谷的芯片工程师，负责开发芯片。而在他内心中最想干的事情是设计开发芯片用的设备。

到了1986年，英特尔公司应Lam公司邀请，让尹志尧测试一下其公司生产的介质刻蚀机水平如何。Lam公司的机器的缺点被尹志尧一语中的，lamb公司认识到了尹志尧巨大的价值，最终将他挖了过去，尹志尧走上了蚀刻机设备研发的道路。

硅谷半导体领域最牛中国人

有了尹志尧的Lam公司开始如日冲天，成为了全球最大的刻蚀机供应商，市场份额占到了全球的40%。目前最大的刻蚀机制造商应用材料，在当时被Lam公司压地喘不上气来。应用材料在当时已经看好了尹志尧，想挖墙脚已经蓄谋已久，正值Lam公司内部人员变动剧烈，应用材料公司如愿以偿。

尹志尧在应用材料公司一呆就是13年，硬生生把世界排名老二的应用材料抬上了世界第一的宝座。他在应用材料工作的间隙，还帮助日本一家公司由电子设备生产跳跃到刻蚀机的专业生产，目前成为了世界第6大刻蚀机供应商，这家企业就是东京电子。

尹志尧在美工作20年，他硬生生地打造出了三个世界一流的刻蚀机生产公司，放眼世界半导体领域，真是没有人的成就可以跟他媲美，他被誉为硅谷芯片领域最牛的中国人。尹志尧就是推动刻蚀机技术发展的天选之子，有他在地方就不愁没有刻蚀机的技术突破。

冲破阻拦毅然回国，中微横空出世

最牛的人才心中永远装着自己的祖国。尹志尧尽管功成名就，已经到了退休的年龄，但他总是觉得使命还没有完成，因为自己的祖国中国还没有自发研制的刻蚀机。年过60的尹志尧毅然放弃超百万美元的年薪，从应用材料辞职，冲破美国政府的重重审查回国。

带着30多名刻蚀机技术专家团队共同在上海创办了中微半导体公司，专心致力于刻蚀机的生产研发。。尹志尧及其团队在充分研究了国内外3000个半导体领域专利的基础上，规划出了国产刻蚀机的研发方向。

弯道超车，国产5NM刻蚀机震惊世界

尹志尧立下目标，要用15年时间追赶，20年时间超越。中微公司在尹志尧的带领下用了短短十年时间就相继推出了七十五到七纳米工艺制程的离子刻蚀机设备，始终保持与当时世界最先进的刻蚀测试设备技术同步。

尹志尧这样来解释他们的工作难度：最杰出的米粒微雕艺术家在一颗米粒上雕刻200个汉字已经达到了极限，而他们研发的等离子刻蚀机的加工工艺相当于在一颗米粒上雕刻10亿个汉字。

成立只有15年的中微公司，自主研发、生产和销售的500多个刻蚀反应台已经在中国、韩国、新加坡、日本和中国台湾等多个国家和地区的40多条先进芯片生产线上运行，高质量生产出了6000多万片晶圆。

芯片生产巨头台积电也宣布将中微公司纳入纳米刻蚀设备商采购名单，成为了向台积电提供7纳米刻蚀设备的唯一大陆企业。5年前，美国商务部派人考察了中微企业，之后发表声明宣布放弃限制向中国出口刻蚀设备。

标志着中微公司首次打破了西方国家在集成电路高端装备领域的垄断控制，成功打破西方的封锁，突围而出。中微公司在尹志尧的率领下乘风破浪更进一步，先于IBM公司两周时间，掌握了5纳米等离子刻蚀机技术，成功实现弯道超车，抢占了这一技术的战略制高点，成为世界第一。

该设备最近通过了台积电的验证，标志着中国在蚀刻机研发领域已经达到了世界一流水平。这一功劳一大半应归功于尹志尧领衔的中微半导体公司。尹志尧从回国创业到成功研发5纳米等离子体刻蚀测试机，一共用了14年时间。

法庭上屹立不倒

尹志尧带领中微公司在刻蚀机研发领域取得如此成就，其艰险程度非常人所能想象，中微可以说是一面要用少的可怜的资金研发最先进的设备与西方竞争对手正面交战，另一方面他还要在法庭上不断应付美国3大刻蚀机生产巨头的法律诉讼。

卑劣的美国公司技术硬杠不过，采用这种下三滥的手段不断诽谤中微泄露商业机密、侵犯其知识产权专利。10年间，美国半导体领域的三大巨头应用材料、科林研发、维科轮番发起对中微公司涉嫌泄露商业机密和专利侵权的法律诉讼，遏制中微企业的企图昭然若揭。

中微公司成为了被美国企业诉讼最多的公司。在这四场最大的官司中，美国半导体三家巨头无不被中微公司打得落花流水，始终抓不到中微公司的把柄。面对竞争对手的不断诉讼，中微公司作了充分的准备。

该公司先后在国内外申请了1200多个专利，大部分是发明专利，有力保护了其通过自主创新获得的知识产权，这是中微公司屹立不倒、无懈可击的最有力法宝。

为了使中微公司的专利产权得到很好的保护，尹志尧做出了非常精妙的制度设计。员工在入职中微的时候必须签保密协议，保证不泄露任何机密文件，否则要承担法律责任。他要求员工必须详细研究了半导体所有专利涉及的领域，知道哪些领域的技术可以碰，哪些领域必须绕着走。

员工一旦在技术上有突破，第一时间申请专利，以便形成非常坚实的专利保护壁垒。中微全体员工必须遵循中国乃至世界各国的知识产权保护法律，保证不触碰任何一国的法律红线。

乘风破浪的中微

目前，中微公司成为了中国刻蚀机自主品牌的领头羊，产品覆盖了介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀、薄膜设备、MOCVD等各大领域，装备了国内所有的集成电路先进封装企业。中微在硅刻蚀领域做出了重大突破，中微生产的TSV刻蚀设备在中国市场的占有量达到了50%，产品还远销欧洲。

中微自主研发的MOCVD设备打破美国维科和德国爱思强的联手封锁垄断，成为该设备在全球的最大供应商。尹志尧在世界半导体巨头公司的轮番攻击下，硬是仅仅用了15年便把中微公司打造成了世界一流刻蚀机公司，技术已领先美国半导体巨头十年。是他，让中国人的"芯"开始抬头。